电容位移传感器主要参数

电容位移传感器广泛用于金属薄片厚度测量，振动测量，工作台垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)测量，精密马达转轴偏振测量(Axial、Radial、Spindle runout)，精密仪器工作平台定  位，设备自动***测量(微影设备，原子力显微镜，光罩探测，图像确认，LCD生产设备…)



电容式位移传感器特性：

1、非接触式电容式微位移测量—准确的电子感应技术，无损样品测量；

2、优化的近距离测量—测量距离在10微米到5毫米；

3、高准确性，高灵敏性测量，精度可达0.5nm；

4、可探测任何可传导性、接地的测量目标—表面是否抛光以及材质对测量准确度无任何影响。



设备性能及主要参数：

1、量程：±25μm 到±1000μm满量程测量

2、分辨率：优于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz

3、带宽：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz 可选



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